八十年代后期国内开始研发微波真空干燥设备，通过多年的努力，解决了低气压微波场起弧放电，铺料层之间加热温差，微波场内非接触测温等多项难题，从实验阶段跨入工业化生产阶段。为食品工程、制药工程、生物工程、化工工程、材料工程以及农副产品深加工提供了一种新型、高效的干燥设备。

 微波真空干燥的特点：
  高效： 常规的真空干燥设备中，（假定真空压力为 7.37kpa ，物料脱水温度为 40 ℃， 1kg 水汽化热是 574 大卡），由于在真空场合下，热量通过对流传递较困难，只能传导进行，加热速度慢，干燥周期长，能耗大。微波真空干燥设备采用的是辐射传能，是介质整体加热，无需其它传热媒介，避免了上述缺点，所以速度快，效率高，干燥周期大大缩短，能耗降低。与常规干燥技术相比可提高工效四倍以上。
  加热均匀： 由于微波加热是物料里外同时加热，物料的里外温差小，不会产生常规加热中出现的里外加热不一致的状况，而使干燥质量大大提高。

       易控： 便于连续生产及实现自动化，由于微波功率可快速调整及无惯性的特点，易于及时控制，便于工艺参数的调整和确定。
  设备体积小，安装维修方便：
  产品质量好： 与常规方法相比，所加工的产品质量有较大幅度的提高。
      此外微波设备具有消毒、杀菌之功效，产品安全卫生。保质期可延长。